フォトニック結晶用シリサイド半導体薄膜の作製と光回路機能の検証
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フォトニック結晶用シリサイド半導体薄膜の作製と光回路機能の検証
[前田佳均], 2008.5
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平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 課題番号 17360011
Synthesis of semiconducting silicides thin films far photonic crystals and investigation of optical circuit functions
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フォトニック ケッショウヨウ シリサイド ハンドウタイ ハクマク ノ サクセイ ト ヒカリ カイロ キノウ ノ ケンショウ
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京都大学大学院エネルギー科学研究科
