ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性
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ナノ非平衡構造を有する窒素吸収材料を用いたケミカル真空ポンプの開発と基礎物性
[石原慶一], 2008.5
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平成17年度～平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(B))研究成果報告書 : 17360369
Development of chemical vacuum pump using nitrogen absorption nano-materials
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ナノ ヒヘイコウ コウゾウ オ ユウスル チッソ キュウシュウ ザイリョウ オ モチイタ ケミカル シンクウ ポンプ ノ カイハツ ト キソ ブッセイ
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京都大学大学院エネルギー科学研究科