イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

Author(s)

• 高橋, 平七郎 タカハシ, ヘイシチロウ

Bibliographic Information

イオン注入法による接合界面の組成・構造変化と接合特性に関する研究

研究代表者 高橋平七郎

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）

[北海道大学エネルギー先端工学研究センター], 1997.3

Title Transcription

イオン チュウニュウホウ ニヨル セツゴウ カイメン ノ ソセイ コウゾウ ヘンカ ト セツゴウ トクセイ ニカンスル ケンキュウ

Note

課題番号: 07455251

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Details

• NCID: BB02682423
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [札幌]
• Pages/Volumes: 56p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701