変形マグネトロン型プラズマ源の開発
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書誌事項
変形マグネトロン型プラズマ源の開発
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）
[佐藤徳芳], 1999.3
- タイトル別名
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平成8-10年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号08558043)
- タイトル読み
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ヘンケイ マグネトロンガタ プラズマゲン ノ カイハツ
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