電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究

Author(s)

• 舛岡, 富士雄 マスオカ, フジオ

Bibliographic Information

電気的解析手法と構造的解析手法の融合によるシリコン酸化膜の破壊機構に関する研究

舛岡富士雄研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）

[舛岡富士雄], 2000.3

Other Title

平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305023)

Title Transcription

デンキテキ カイセキ シュホウ ト コウゾウテキ カイセキ シュホウ ノ ユウゴウ ニヨル シリコン サンカマク ノ ハカイ キコウ ニカンスル ケンキュウ

• NCID: BB03000620
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 137p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195718