ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術
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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術
NetLibrary, 2009
- : electronic bk
機械可読データファイル(リモートファイル)
- タイトル別名
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Nanoscale servo control
ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術
- タイトル読み
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ナノスケール サーボ セイギョ : コウソク コウセイド ニ イチ オ キメル ギジュツ
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注記
原資料の出版事項: 東京 : 東京電機大学出版局, 2007
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