ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

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ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

山口高司, 平田光男, 藤本博志編著

NetLibrary, 2009

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Other Title

Nanoscale servo control

ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術

Title Transcription

ナノスケール サーボ セイギョ : コウソク コウセイド ニ イチ オ キメル ギジュツ

Note

原資料の出版事項: 東京 : 東京電機大学出版局, 2007

各章末: 関連図書

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