ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

書誌事項

ナノスケールサーボ制御 : 高速・高精度に位置を決める技術

山口高司, 平田光男, 藤本博志編著

NetLibrary, 2009

  • : electronic bk

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タイトル別名

Nanoscale servo control

ナノスケールサーボ制御 : 高速高精度に位置を決める技術

タイトル読み

ナノスケール サーボ セイギョ : コウソク コウセイド ニ イチ オ キメル ギジュツ

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注記

原資料の出版事項: 東京 : 東京電機大学出版局, 2007

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