ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究

Author(s)

• 羽根, 一博 ハネ, カズヒロ

Bibliographic Information

ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究

羽根一博研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[羽根一博], 1998.3

Other Title

平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455059)

Title Transcription

ホログラフィック トウエイ ニヨル ヒヘイメン リソグラフィホウ ノ ケンキュウ

Details

• NCID: BB03101865
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701