3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究
著者
書誌事項
3次元微細形状創成のための電気粘性流体援用超精密研磨法の開発に関する基礎的研究
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）
[厨川常元], 1998.3
- タイトル別名
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平成8-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号08455066)
- タイトル読み
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3ジゲン ビサイ ケイジョウ ソウセイ ノ タメ ノ デンキ ネンセイ リュウタイ エンヨウ チョウセイミツ ケンマホウ ノ カイハツ ニカンスル キソテキ ケンキュウ
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