UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法

著者

• 櫛引, 淳一 クシビキ, ジュンイチ

書誌事項

UMS技術によるエレクトロニクス材料表面の超高精度特性解析・評価法

櫛引淳一研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[櫛引淳一], 2000.3

タイトル別名

平成9-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09450120)

タイトル読み

UMS ギジュツ ニヨル エレクトロニクス ザイリョウ ヒョウメン ノ チョウコウセイド トクセイ カイセキ・ヒョウカホウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB03384690
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 158p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701