高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

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高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究

南部健一研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書）

[南部健一], 2001.3

Other Title

平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305016)

Title Transcription

コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニオケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニカンスル ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BB0350360X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    84p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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