3次元MOSデバイスを用いた超高性能3次元集積回路に関する研究

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3次元MOSデバイスを用いた超高性能3次元集積回路に関する研究

遠藤哲郎研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成10-11年度）

[遠藤哲郎], 2000.3

Other Title

平成10-11年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号10555112)

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3ジゲン MOS デバイス オ モチイタ チョウ コウセイノウ 3ジゲン シュウセキ カイロ ニカンスル ケンキュウ

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Details

  • NCID
    BB03584521
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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