光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

著者

    • 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ

書誌事項

光学超薄膜偏光素子の開発と軟X線エリプソメトリーへの応用

山本正樹研究代表者

(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書)

[山本正樹], 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09555007)

タイトル読み

コウガク チョウハクマク ヘンコウ ソシ ノ カイハツ ト ナンXセン エリプソメトリー エノ オウヨウ

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB03658286
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [仙台]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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