走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究

著者

• 八百, 隆文 ヤオ, タカフミ

書誌事項

走査容量顕微鏡を用いた半導体ナノスケール材料・デバイス評価技術の開発に関する研究

八百隆文研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[八百隆文], 1999.3

タイトル別名

平成9年度〜平成10年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号09555093)

タイトル読み

ソウサ ヨウリョウ ケンビキョウ オ モチイタ ハンドウタイ ナノスケール ザイリョウ デバイス ヒョウカ ギジュツ ノ カイハツ ニカンスル ケンキュウ

• NII書誌ID(NCID): BB03660594
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 119p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701