Semiconductor process design : representations, tools, and methodologies

著者

• Duane, S. Boning

書誌事項

Semiconductor process design : representations, tools, and methodologies

Boning, Duane S.

Massachusetts Institute of Technology, 1991

マイクロ形態（マイクロフィッシュ）

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB03822732
• 出版国コード: xx
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [Cambridge, Ma.]
• ページ数/冊数: 4 microfiche
• 大きさ: 11×15 cm