41st R3-Nordic Symposium : Cleanroom technology, contamination control and cleaning : Dipoli, Espoo, Finland, May 25-26, 2010

著者

• R3-Nordic Symposium
• Valtion teknillinen tutkimuskeskus
• Wirtanen, Gun
• Satu, Salo
• Nordic Association for Contamination Control

書誌事項

41st R3-Nordic Symposium : Cleanroom technology, contamination control and cleaning : Dipoli, Espoo, Finland, May 25-26, 2010

edited by Gun Wirtanen & Satu Salo

（VTT Symposium, 266）

VTT, c2010

注記

Includes bibliographical references

• NII書誌ID(NCID): BB04600077
• ISBN:
  • 9789513875954
• 出版国コード: fi
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: [Helsinki], Finland
• ページ数/冊数: 223 p.
• 大きさ: 25 cm
• 件名:
  • LCSH : Clean rooms -- Congresses
• 親書誌ID:
  • BA01441785
• リンク:
  • www.vtt.fi/inf/pdf/symposiums/2010/S266.pdf