粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発

Author(s)

Bibliographic Information

粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発

豊田浩孝 [ほか著]

[出版者不明], 2008.3

Other Title

平成18～19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

Title Transcription

リュウシ エネルギー セイギョガタ シンキ マグネトロン プラズマ ゲン ノ カイハツ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号: 18540489

研究分担者: 石島達夫

Details

  • NCID
    BB04721912
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    [12] , 37p
  • Size
    30cm
Page Top