Silicon science and advanced micro-device engineering

著者

• 花泉, 修 ハナイズミ, オサム
• 海野, 雅史 ウンノ, マサフミ

書誌事項

Silicon science and advanced micro-device engineering

edited by Osamu Hanaizumi and Masafumi Unno

（Key engineering materials, v. 459）

Trans Tech Pub., c2011

• I

注記

Selected, peer reviewed papers from the 5th International Symposium on Silicon Science and the 1st International Conference on Advanced Mico-Device Engineering (ISSS & AMDE 2009)

Includes bibliographical references and indexes

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05028096
• ISBN:
  • 9780878492176
• 出版国コード: sz
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Zuerich
• ページ数/冊数: xii, 282 p.
• 大きさ: 25 cm
• 親書誌ID:
  • BA1292205X