はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems

著者

• 江刺, 正喜 エサシ, マサヨシ

書誌事項

はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems

江刺正喜著

森北出版, 2011.3

タイトル別名

はじめてのMEMS

タイトル読み

ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems

注記

工業調査会 2009年刊の再刊

参考文献あり

内容説明・目次

内容説明

最先端技術ＭＥＭＳ（微小電気機械システム）の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだＭＥＭＳをわかりやすく解説。

目次

• 第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）
• 第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合バランス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）
• 第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）
• 第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BB05352640
• ISBN:
  • 9784627784918
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 230p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 530
  • NDC9 : 530
• 件名:
  • BSH : マイクロマシン