はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems
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はじめてのMEMS : micro electro mechanical systems
森北出版, 2011.3
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はじめてのMEMS
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ハジメテ ノ MEMS : micro electro mechanical systems
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Note
工業調査会 2009年刊の再刊
参考文献あり
Description and Table of Contents
Description
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。
Table of Contents
- 第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS;MEMSの歴史)
- 第2章 MEMSの製作(パターニング;エッチング;堆積と応力制御;接合;複合バランス;集積化;パッケージングと組立;設計・評価)
- 第3章 MEMSの要素(センサ;アクチュエータ;エネルギー源)
- 第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用;情報・通信応用;製造・検査応用;医療・バイオ応用;MEMSビジネス)
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