Introduction to microfabrication

著者

• Franssila, Sami

書誌事項

Introduction to microfabrication

Sami Franssila

Wiley, 2010

2nd ed

• : cloth

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05513331
• ISBN:
  • 9780470749838
• LCCN: 2010010076
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Chichester, West Sussex, England
• ページ数/冊数: xiv, 518 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC22 : 621.3
  • DC22 : 621.381
  • NDLC : ND351
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Electronic apparatus and appliances
  • LCSH : Microfabrication
  • LCSH : Integrated circuits
  • LCSH : Semiconductor processing
  • LCSH : Nanotechnology