Computational lithography

著者

• Ma, Xu
• Arce, Gonzalo R.

書誌事項

Computational lithography

Xu Ma and Gonzalo R. Arce

（Wiley series in pure and applied optics）

Wiley, c2010

• cloth

注記

Includes bibliographical references (p. 217-222) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB05567931
• ISBN:
  • 9780470596975
• LCCN: 2009049250
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Hoboken, N.J.
• ページ数/冊数: xii, 226 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7872.M3
  • DC22 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Microlithography -- Mathematics
  • LCSH : Integrated circuits -- Design and construction -- Mathematics
  • LCSH : Photolithography -- Mathematics
  • LCSH : Semiconductors -- Etching -- Mathematics
  • LCSH : Resolution (Optics)
• 親書誌ID:
  • BA00348875