CCDイメージセンサを用いるダイナミックイメージング分光エリプソメータの試作

Author(s)

• 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ

Bibliographic Information

CCDイメージセンサを用いるダイナミックイメージング分光エリプソメータの試作

杉本克久研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[杉本克久], 2001.3

Other Title

平成10年度〜12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号10555226)

Title Transcription

CCD イメージセンサ オ モチイル ダイナミックイメージング ブンコウ エリプソメータ ノ シサク

Details

• NCID: BB0565154X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 38p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701