CCDイメージセンサを用いるダイナミックイメージング分光エリプソメータの試作

著者

• 杉本, 克久 スギモト, カツヒサ

書誌事項

CCDイメージセンサを用いるダイナミックイメージング分光エリプソメータの試作

杉本克久研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[杉本克久], 2001.3

タイトル別名

平成10年度〜12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号10555226)

タイトル読み

CCD イメージセンサ オ モチイル ダイナミックイメージング ブンコウ エリプソメータ ノ シサク

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB0565154X
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 38p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701