気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

Author(s)

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 須川, 成利 スガワ, シゲトシ
• 小谷, 光司 コタニ, コウジ
• 平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ

Bibliographic Information

気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[大見忠弘], 2002.3

Title Transcription

キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル TA ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ

Note

研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹

Details

• NCID: BB06298358
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 87p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195718