気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
著者
書誌事項
気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）
[大見忠弘], 2002.3
- タイトル読み
-
キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル TA ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹
