気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

著者

• 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 須川, 成利 スガワ, シゲトシ
• 小谷, 光司 コタニ, コウジ
• 平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ

書誌事項

気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

研究代表者 大見忠弘

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[大見忠弘], 2002.3

タイトル読み

キタイ ブンリ ハイセン コウゾウ オ ユウスル TA ゲート キンゾク キバン SOI チョウコウソク チョウビサイ LSI ノ カイハツ

注記

研究分担者: 須川成利, 小谷光司, 平山昌樹

• NII書誌ID(NCID): BB06298358
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 87p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195718