電子線ホログラフィーによる精密形態評価法の開発

Author(s)

• 進藤, 大輔 シンドウ, ダイスケ

Bibliographic Information

電子線ホログラフィーによる精密形態評価法の開発

研究代表者 進藤大輔

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11-13年度）

[進藤大輔], 2002.3

Title Transcription

デンシセン ホログラフィー ニ ヨル セイミツ ケイタイ ヒョウカホウ ノ カイハツ

Note

課題番号: 11450034

Details

• NCID: BB06323863
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 113p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701