電子線ホログラフィーによる精密形態評価法の開発

著者

• 進藤, 大輔 シンドウ, ダイスケ

書誌事項

電子線ホログラフィーによる精密形態評価法の開発

研究代表者 進藤大輔

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11-13年度）

[進藤大輔], 2002.3

タイトル読み

デンシセン ホログラフィー ニ ヨル セイミツ ケイタイ ヒョウカホウ ノ カイハツ

注記

課題番号: 11450034

• NII書誌ID(NCID): BB06323863
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 113p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701