有機ケイ素を用いたSiCエピキシャル成長の表面化学
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有機ケイ素を用いたSiCエピキシャル成長の表面化学
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度～平成13年度）
末光眞希, 2002.3
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ユウキ ケイソ オ モチイタ SiC エピキシャル セイチョウ ノ ヒョウメン カガク
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