不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

著者

• 平山, 昌樹 ヒラヤマ, マサキ

書誌事項

不揮発性メモリー用高品質STNO強誘電体膜の低温形成に関する研究

研究代表者平山昌樹

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度～平成13年度）

平山昌樹, 2002.3

タイトル読み

フキハツセイ メモリーヨウ コウヒンシツ STNO キョウ ユウデンタイマク ノ テイオン ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06354823
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 84p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401