傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発

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傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発

早稻田嘉夫研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12-13年度）

[早稻田嘉夫], 2002.3

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平成12年度～平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))成果報告書(課題番号12555171)

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ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトズク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ

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参考文献: p69-75

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  • NCID
    BB06359543
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [仙台]
  • Pages/Volumes
    75枚
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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