傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発

著者

• 早稲田, 嘉夫 ワセダ, ヨシオ

書誌事項

傾角熱反射法に基づくSi/NiFe/AlN機能性薄膜の熱的3次元構造測定装置の開発

早稻田嘉夫研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12-13年度）

[早稻田嘉夫], 2002.3

タイトル別名

平成12年度～平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))成果報告書(課題番号12555171)

タイトル読み

ケイカク ネツ ハンシャホウ ニ モトズク Si/NiFe/AlN キノウセイ ハクマク ノ ネツテキ 3ジゲン コウゾウ ソクテイ ソウチ ノ カイハツ

注記

参考文献: p69-75

• NII書誌ID(NCID): BB06359543
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 75枚
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701