ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

Author(s)

• 川添, 良幸 カワゾエ, ヨシユキ

Bibliographic Information

ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

研究代表者川添良幸

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11～平成12年度）

川添良幸, 2001.3

Title Transcription

ハイブリッド モデル ニ ヨル クラスター タイセキマク ノ サクセイ カテイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ

Details

• NCID: BB06362650
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: engjpn
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 61p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401