ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

著者

• 川添, 良幸 カワゾエ, ヨシユキ

書誌事項

ハイブリッドモデルによるクラスター堆積膜の作製過程とその物性評価

研究代表者川添良幸

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11～平成12年度）

川添良幸, 2001.3

タイトル読み

ハイブリッド モデル ニ ヨル クラスター タイセキマク ノ サクセイ カテイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06362650
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 61p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401