オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明

Author(s)

• 成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ

Bibliographic Information

オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明

研究代表者成島尚之

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度～平成12年度）

成島尚之, 2001.3

Title Transcription

オゾンガス ニ ヨル シリコン オヨビ シリコンキ セラミックス ノ サンカ キコウ カイメイ

Details

• NCID: BB06362898
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 78p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401