オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明

著者

• 成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ

書誌事項

オゾンガスによるシリコンおよびシリコン基セラミックスの酸化機構解明

研究代表者成島尚之

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度～平成12年度）

成島尚之, 2001.3

タイトル読み

オゾンガス ニ ヨル シリコン オヨビ シリコンキ セラミックス ノ サンカ キコウ カイメイ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06362898
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 78p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401