Introduction to microsystem design

著者

• Schomburg, Werner Karl

書誌事項

Introduction to microsystem design

Werner Karl Schomburg

（RWTH edition）

Springer, c2011

注記

Includes bibliographical references (p. 311-314) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06467342
• ISBN:
  • 9783642194887
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin
• ページ数/冊数: xxi, 319 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Design and construction
  • LCSH : Microelectronics -- Design
• 親書誌ID:
  • BA83864725