不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

著者

• 角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ

書誌事項

不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

角田匡清研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[角田匡清], 2001.3

タイトル別名

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555105)

タイトル読み

フジュンブツ セイギョ フンイキ スパッタホウ デ サクセイシタ ジンコウ コウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ

• NII書誌ID(NCID): BB06516765
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [仙台]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701