不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

Author(s)

• 角田, 匡清 ツノダ, マサキヨ

Bibliographic Information

不純物制御雰囲気スパッタ法で作製した人工格子型高感度薄膜磁気センサーの開発

角田匡清研究代表者

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書）

[角田匡清], 2001.3

Other Title

平成11年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555105)

Title Transcription

フジュンブツ セイギョ フンイキ スパッタホウ デ サクセイシタ ジンコウ コウシガタ コウカンド ハクマク ジキ センサー ノ カイハツ

Details

• NCID: BB06516765
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [仙台]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701