Contamination-free manufacturing for semiconductors and other precision products

著者

• Donovan, R. P.

書誌事項

Contamination-free manufacturing for semiconductors and other precision products

edited by Robert P. Donovan

Marcel Dekker, c2001

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB06538702
• ISBN:
  • 0824703804
• LCCN: 2001028403
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: New York
• ページ数/冊数: x, 448 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • LCC : TK7871.85
  • DC21 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Semiconductors -- Design and construction
  • LCSH : Semiconductors -- Defects