逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

著者

• 科学技術庁無機材質研究所 カガク ギジュツチョウ ムキ ザイシツ ケンキュウジョ

書誌事項

逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

科学技術庁無機材質研究所編

（無機材質研究所研究報告書 / 科学技術庁無機材質研究所編, 第85号）

科学技術庁無機材質研究所, 1995.11

タイトル読み

ギャッコウガタ ラジカルゲン オ モチイタ ハクマクカ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ : ヘイセイ 3 6ネンド ムキ ザイシツ トクベツ ケンキュウ

• NII書誌ID(NCID): BB06635935
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: つくば市
• ページ数/冊数: 17p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BB06424022