逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

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逆向型ラジカル源を用いた薄膜化技術に関する研究 : 平成3〜6年度無機材質特別研究

科学技術庁無機材質研究所編

（無機材質研究所研究報告書 / 科学技術庁無機材質研究所編, 第85号）

科学技術庁無機材質研究所, 1995.11

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ギャッコウガタ ラジカルゲン オ モチイタ ハクマクカ ギジュツ ニカンスル ケンキュウ : ヘイセイ 3 6ネンド ムキ ザイシツ トクベツ ケンキュウ

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  • NCID
    BB06635935
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    つくば市
  • Pages/Volumes
    17p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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