機能性無機膜 : 開発技術と応用

Author(s)

• 上條, 榮治 カミジョウ, エイジ

Bibliographic Information

機能性無機膜 : 開発技術と応用

（CMCテクニカルライブラリー, 403 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ）

シーエムシー出版, 2011.9

普及版

Other Title

Functional inorganic films : new technologies and applications

機能性無機膜の製造と応用

Title Transcription

キノウセイ ムキマク : カイハツ ギジュツ ト オウヨウ

Note

初版のタイトル: 機能性無機膜の製造と応用 (2006年刊)

その他のタイトルは「普及版の刊行にあたって」による

監修: 上條榮治

文献: 各章末

Description and Table of Contents

Table of Contents

• 第１章　無機膜の製造プロセス（ＰＶＤ法；ＣＶＤ法　ほか）
• 第２章　無機膜の製造装置技術（最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置；反応性プラズマ蒸着装置　ほか）
• 第３章　無機膜の物性評価技術（薄膜の組成と構造；薄膜の密着力および内部応力　ほか）
• 第４章　無機膜の最新応用技術（工具・金型分野への応用；シリサイド系半導体薄膜の発光／受光デバイスへの応用　ほか）
• 第５章　最新のトピックス（熱線反射膜と製品；プラスチックフィルムのガスバリア膜　ほか）

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Details

• NCID: BB06677232
• ISBN:
  • 9784781303598
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: vii, 305p
• Size: 21cm
• Classification:
  • NDC8 : 501.48
  • NDC9 : 501.48
• Subject Headings:
  • BSH : 非金属材料
  • BSH : 無機化学
  • BSH : 薄膜
• Parent Bibliography ID:
  • BA49949541