機能性無機膜 : 開発技術と応用
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機能性無機膜 : 開発技術と応用
(CMCテクニカルライブラリー, 403 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ)
シーエムシー出版, 2011.9
普及版
- タイトル別名
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Functional inorganic films : new technologies and applications
機能性無機膜の製造と応用
- タイトル読み
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キノウセイ ムキマク : カイハツ ギジュツ ト オウヨウ
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注記
初版のタイトル: 機能性無機膜の製造と応用 (2006年刊)
その他のタイトルは「普及版の刊行にあたって」による
監修: 上條榮治
文献: 各章末
内容説明・目次
目次
- 第1章 無機膜の製造プロセス(PVD法;CVD法 ほか)
- 第2章 無機膜の製造装置技術(最新のフィルムコンデンサー用巻取蒸着装置;反応性プラズマ蒸着装置 ほか)
- 第3章 無機膜の物性評価技術(薄膜の組成と構造;薄膜の密着力および内部応力 ほか)
- 第4章 無機膜の最新応用技術(工具・金型分野への応用;シリサイド系半導体薄膜の発光/受光デバイスへの応用 ほか)
- 第5章 最新のトピックス(熱線反射膜と製品;プラスチックフィルムのガスバリア膜 ほか)
「BOOKデータベース」 より