大気圧プラズマの技術とプロセス開発
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大気圧プラズマの技術とプロセス開発
シーエムシー出版, 2011.8
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Atomospheric plasma its technology and process development
新材料・新素材シリーズ
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タイキアツ プラズマ ノ ギジュツ ト プロセス カイハツ
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Note
監修: 沖野晃俊
文献あり
その他のタイトルはブックジャケットによる
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１編 プラズマ生成技術と機器開発（大気圧グロー放電プラズマの開発の経過；非平衡プラズマの種類と発生法 ほか）
- 第２編 表面処理・材料プロセス（親水化・撥水化処理；薄膜Ｓｉ太陽電池開発に向けたプラズマＣＶＤ技術 ほか）
- 第３編 分析・環境応用（オゾンの生成と環境への応用；自動車の排出ガス処理 ほか）
- 第４編 化学・有機合成プロセス（大気圧プラズマによる天然ガス高度利用技術；低エネルギー放電を使った燃料転換 ほか）
- 第５編 医療・バイオ応用（プラズマ滅菌；プラズマ医療のための大気圧低温プラズマを用いた液体の効果的殺菌技術 ほか）
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