半導体SiC技術と応用
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書誌事項
半導体SiC技術と応用
日刊工業新聞社, 2011.9
第2版
- タイトル別名
-
Technology of semiconductor SiC and its application
- タイトル読み
-
ハンドウタイ SiC ギジュツ ト オウヨウ
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注記
文献あり
その他の編著者 : 大谷昇, 木本恒暢, 中村孝
内容説明・目次
目次
- 1 シリコンカーバイド(SiC)技術の進展
- 2 SiCの特徴
- 3 SiC単結晶の結晶成長技術
- 4 SiC単結晶のウェハ加工技術
- 5 SiCエピタキシャル成長技術
- 6 SiCの評価技術
- 7 SiCのプロセス技術
- 8 デバイス
- 9 SiCを用いたシステム
- 10 各分野におけるSiCへの期待
「BOOKデータベース」 より