半導体SiC技術と応用

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半導体SiC技術と応用

松波弘之 [ほか] 編著

日刊工業新聞社, 2011.9

第2版

Other Title

Technology of semiconductor SiC and its application

Title Transcription

ハンドウタイ SiC ギジュツ ト オウヨウ

Available at  / 76 libraries

Note

文献あり

その他の編著者 : 大谷昇, 木本恒暢, 中村孝

Description and Table of Contents

Table of Contents

  • １　シリコンカーバイド（ＳｉＣ）技術の進展
  • ２　ＳｉＣの特徴
  • ３　ＳｉＣ単結晶の結晶成長技術
  • ４　ＳｉＣ単結晶のウェハ加工技術
  • ５　ＳｉＣエピタキシャル成長技術
  • ６　ＳｉＣの評価技術
  • ７　ＳｉＣのプロセス技術
  • ８　デバイス
  • ９　ＳｉＣを用いたシステム
  • １０　各分野におけるＳｉＣへの期待

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Details

  • NCID
    BB07099801
  • ISBN
    • 9784526067549
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    xii, 533p
  • Size
    21cm
  • Classification
  • Subject Headings
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