高膨張係数材料の超精密除去加工における熱変形の解析と制御システムの研究
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高膨張係数材料の超精密除去加工における熱変形の解析と制御システムの研究
（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 昭和60年度）
[一宮亮一], 1986.3
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コウボウチョウ ケイスウ ザイリョウ ノ チョウセイミツ ジョキョ カコウ ニオケル ネツ ヘンケイ ノ カイセキ ト セイギョ システム ノ ケンキュウ
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注記
研究課題番号: 59550089