超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化
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超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化
（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成元年度）
[横山和宏], 1990.3
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チョウセイミツ センバンヨウ シンクウ チャックメン ノ ネツ ヘンケイ・ダンセイ ヘンケイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ
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注記
研究課題番号: 63550101