超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化

Author(s)

• 横山, 和宏 ヨコヤマ, カズヒロ

Bibliographic Information

超精密旋盤用真空チャック面の熱変形・弾性変形による形状変化

研究代表者 横山和宏

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成元年度）

[横山和宏], 1990.3

Title Transcription

チョウセイミツ センバンヨウ シンクウ チャックメン ノ ネツ ヘンケイ・ダンセイ ヘンケイ ニ ヨル ケイジョウ ヘンカ

Note

研究課題番号: 63550101

• NCID: BB07802001
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [新潟]
• Pages/Volumes: ii, 42p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN03663735