Design and manufacturing of active microsystems

著者

• Büttgenbach, S. (Stephanus)
• Burisch, Arne
• Hesselbach, Jürgen

書誌事項

Design and manufacturing of active microsystems

Stephanus Büttgenbach, Arne Burisch, Jürgen Hesselbach, editors

（Microtechnology and MEMS）

Springer, c2011

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB07905015
• ISBN:
  • 9783642129025
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Berlin ; Heidelberg
• ページ数/冊数: xii, 444 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems -- Design and construction
• 親書誌ID:
  • BA51409718