薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

Author(s)

• 一宮, 亮一 イチミヤ, リョウイチ

Bibliographic Information

薄膜の厚さ測定に音響信号を利用する新しい方法の研究

研究代表者 一宮亮一

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4年度）

[一宮亮一], 1993.3

Title Transcription

ハクマク ノ アツサ ソクテイ ニ オンキョウ シンゴウ オ リヨウ スル アタラシイ ホウホウ ノ ケンキュウ

Note

課題番号: 03650098

Details

• NCID: BB07975633
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [新潟]
• Pages/Volumes: 45枚
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN03663735