ナノインプリントの開発とデバイス応用 Development of Nanoimprint and Device Applications
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ナノインプリントの開発とデバイス応用 = Development of Nanoimprint and Device Applications
シーエムシー出版, 2011.10
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エレクトロニクスシリーズ
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ナノインプリント ノ カイハツ ト デバイス オウヨウ = Development of Nanoimprint and Device Applications
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Note
その他タイトルはブックジャケットによる
各章末に「文献」あり
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１編 転写方式（熱ナノインプリント；光ナノインプリント；室温ナノインプリント ほか）
- 第２編 装置と関連部材（ナノインプリント装置；モールド；樹脂 ほか）
- 第３編 デバイス応用（光デバイス；電子デバイス；エネルギーデバイス ほか）
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